庄彦瑜:“我和他兄长是伴侣关系。”
周青城:“是的是的!我们是一家人!”
负责人:“……”
负责人不再说了。
到了无尘车间,换上了工作服。
庄彦瑜终于见到了这个时代的光刻轨道系统。
不得不说,是真的……粗糙。
在其他研究员眼中无比珍贵的光刻机,在庄彦瑜眼中只剩下了一个印象:笨重。
光刻有八个步骤:气相成底模处理、旋转涂胶、软烘、对准和曝光、曝光后烘焙、显影、竖膜烘焙、显影检查。这其中的每一个大步骤中,又涉及到各种复杂的工艺,统统都在这台光刻轨道系统中完成。
也因此,这台设备在庄彦瑜看来,非常……庞大。
负责人正想让周青城给庄彦瑜介绍一下这套系统,就听庄彦瑜问:“用的是什么光刻胶?”
负责人下意识地说:“CADUV光刻胶。”
庄彦瑜点点头,深紫外光刻胶的化学放大,的确是目前市面上常用的商用光刻胶。
而且据他所了解的,国外许多精细的设备都是对华国卡脖子的,现在研究所里面有这样一台光刻轨道系统确实不容易了,虽然粗糙了一点。
光刻轨道系统一共八个步骤,最重要的一步就是对准和曝光。
因为这一步,就是真正进入光刻的步骤。庄彦瑜说要改良的地方,也正是这一个地方。
光学芯片之所以离不开集成电路,就是因为它是通过在硅片上表面几微米形成的半导体器件,再通过加工形成材料层的图形来互相连接的。
这就意味着也离不开光学光刻。
这也正是负责人看了庄彦瑜的报告后,无语又头痛的一个地方。
“你说说,抛弃光学光刻,我们还能做什么芯片?我们花费这么多人力物力,才终于赶上了一些国际的脚步,走到了现在。你有心改良光刻轨道系统,我也很开心,但这步子不能迈得太大,咱华国人都是一步一步走过来的,走得踏实,也走得放心不是?”
庄彦瑜没说话,他手上拿着纸笔,已经开始在写写画画。
负责人:“小庄同志?”
庄彦瑜闻言抬头,一脸疑惑:“嗯?”
负责人:“……算了,你在写什么?”
难道是把自己刚刚说的话,全部记下来了?
这么认真?
负责人表情变得和善了-->>本章未完,点击下一页继续阅读
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